Регистрация Вспомнить пароль

Новые сниматели Smart Intelligent Fluids®

05.03.2020

Сниматели SVD и SH5 для процессов фотолитографии легко удаляют слои фоторезистов (PR) с неорганических подложек, таких как кремний, стекло и металлы (например, медь). Действие Smart Intelligent Fluids® (IF) основано на не агрессивных процессах растворения, как в случае многих традиционных продуктов, — Intelligent Fluids® обеспечивают мягкое физическое отделение даже стойких слоев, не повреждая поверхность подложки.

Сниматели работают с высокодинамичными фазовыми структурами в два этапа:

Негативные фоторезисты будут отделяться большими фрагментами и могут быть отфильтрованы. Позитивные фоторезисты с другой стороны будут оставаться в растворе.

Преимущества:

svd.png