Описание
Для формирования металлизации и слоёв иного топологического назначения, в микроэлектронике в основном применяют процессы физического осаждения (PVD). Материал испаряют термически, с помощью ионной бомбардировки, сфокусированным электронным или ионным пучком, а затем осаждают на подложку. Независимо от типа источника, высочайшие требования предъявляются к чистоте материалов. Наша компания поставляет материалы для различных методов напыления от ведущих мировых производителей.
Техническое описание
Особенности мишеней для напыления, изготавливаемых при помощи плавки:
- Материалы мишеней не содержат пор, оксидов и газов.
- Качество крепления к опорной плите подтверждается проверкой ультразвуковым дефектоскопом.
- Переработанные повторно драгоценные металлы также могут быть использованы для создания мишеней.
- Цилиндрические серебряные мишени высокой эффективности.
Области применения мишеней для напыления
- Тонкие пленки для крепления кристаллов
- Электроды для светодиодов.
- Пленки электродов для кварцевых генераторов.
- Отражающие пленки для тонкопленочных солнечных элементов.
- Функциональные пленки для улучшенного (энергосберегающего) стекла для строительных материалов.
- Отражающие и пропускающие пленки для CD-R, DVD и BD.
- Отражающие пленки для органических электролюминесцентных и электродных пленок для сенсорных панелей.
- Пропускающие пленки для плазменных панелей и отражающие пленки для жидкокристаллических дисплеев.
- Пленки для электродов затворов в электронных компонентах.
- Пленки для электродов электронных компонентов / оксидные диэлектрические элементы.
- Пленки для электродов сенсоров.
Условия поставки
Мишени для напыления поставляются под заказ. Материалы поставляются либо отдельно, либо на медной пластине. Метод соединения пластины и медного основания согласовывается с заказчиком. Мишени изготавливаются согласно спецификации заказчика.
Хранение и транспортировка
Срок годности материалов не ограничен при условии хранения в инертной среде.
Форма |
|||||
Материал |
Мишень |
Дробь |
Куски |
Форма под заказ |
Проволока |
Ag |
+ |
+ |
+ |
+ |
+ |
Al |
+ |
+ |
+ |
+ |
+ |
AlCu |
+ |
+ |
|||
AlN |
+ |
+ |
|||
AlSi |
+ |
+ |
|||
AlSiCu |
+ |
+ |
|||
Au |
+ |
+ |
+ |
+ |
+ |
Au-Ge |
+ |
+ |
|||
Au-Si |
+ |
+ |
|||
Au-Sn |
+ |
+ |
+ |
||
CIGS |
+ |
+ |
|||
Cr |
+ |
+ |
|||
Cu |
+ |
+ |
+ |
||
Ga |
+ |
+ |
|||
Ge |
+ |
+ |
+ |
||
Hf |
+ |
+ |
+ |
+ |
|
HfO2 |
+ |
+ |
|||
In |
+ |
+ |
+ |
||
Ir |
+ |
+ |
+ |
||
ITO |
+ |
+ |
+ |
||
Ni |
+ |
+ |
+ |
+ |
|
NiFe |
+ |
+ |
+ |
+ |
|
NiFeMoMn |
+ |
+ |
+ |
||
Pb |
+ |
+ |
|||
Pd |
+ |
+ |
|||
Pt |
+ |
+ |
+ |