Назад
Всегда рады ответить на все ваши вопросы
materials@ostec-group.ru

Фоторезисты для гальванического осаждения

Улучшенная адгезия к поверхности при росте металлической плёнки

Описание

Гальваническое осаждение различных металлов (Cu, Au, Ag, и др.) широко применяется для 3D интеграции, а также в производстве МЭМС. Резисты, используемые для формирования топологии в этом процессе, должны обладать хорошей адгезией к слоям, на которых ведётся осаждение, а также высокой стойкостью к агрессивным растворам, в которых производится осаждение. Это позволяет создавать бездефектные металлические структуры с ровными перпендикулярными стенками.

Условия поставки

Резисты для гальванического осаждения поставляются под заказ

Упаковка

Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма

Хранение и транспортировка

Срок годности и условия хранения резистов для гальванического осаждения указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка резистов недопустима.

Характеристики

Резист

Толщина, мкм

Длина волны экспонирования

Проявитель

Сниматель

Позитивные фоторезисты

Allresist AR-P 3200

2-10


i-, g-линии; broadband

AR 300-26, AR 300-35


AR 300-76, AR 600-71


Microresist Technology ma-P 1200

0,5-8


i,h,g линии

воднощелочные растворы

Cтанд. сниматели

DuPont MEGAPOSIT SPR 220

1,2-7


i-, g-линии; broadband

MF-20A, MF-CD-26

Cтанд. сниматели

AZ 10XT 4 - 14 320 - 440 нм Растворы TMAH, KOH и т.п. AZ Kwik Strip
и др.
AZ 12XT-20PL 3 - 22 320 - 440 нм Растворы TMAH, KOH и т.п. AZ Kwik Strip
и др.
AZ 40XT-11D 30 - 65 320 - 440 нм Растворы TMAH, KOH и т.п. AZ 400T

Негативные фоторезисты

Allresist AR-N 4400 (CAR44)

5-10


i-, g-линии; broadband

AR 300-47


AR 600-71, AR 600-70


AZ 15nXT

5-20


i-линия


AZ 326/726/826 MIF

TechniStrip NI555

AZ 125 nXT

20-150


i-линия


AZ 326/726/826 MIF

TechniStrip NI555

KAM KMPR 1000

8-100


350-400 нм


TMAH, SU-8 developer и др.

Remover PG


Остались вопросы?
Задайте их, и мы ответим в ближайшее время
Задать вопрос
Фоторезисты для гальванического осаждения

Вы смотрели