Фоторезисты для жидкостного травления
Описание
Условия поставки
Фоторезисты для жидкостного травления поставляются под заказ.
Упаковка
Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма.
Хранение и транспортировка
Срок годности и условия хранения резистов для жидкостного травления указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка резистов недопустима.
Резист |
Толщина, мкм |
Длина волны экспонирования |
Проявитель |
Сниматель |
Позитивные фоторезисты |
||||
|
i-, g-линии; broadband |
AR |
AR |
|
0,5 |
i,h,g линии |
Растворы TMAH, KOH и т.п. |
AZ 100 Remover и др. |
|
|
i,h,g линии |
ma-D 331, ma-D 531 |
mr-Rem 660, mr-Rem 400, ma-R 404 |
|
|
i-, g-линии; broadband |
MF-20A, MF-CD-26 |
Cтанд. сниматели |
|
|
i-, g-линии; broadband |
MF-300, MF-20A, 351 Dev |
Cтанд. сниматели |
|
Обращаемые фоторезисты |
||||
|
i,h,g линии |
AZ 826 MIF, AZ 400K |
AZ 100 Remover |
|
Негативные фоторезисты |
||||
|
|
SU-8 developer |
Remover PG |
|
|
300 — 380 нм |
ma-D 332/S и ma-D 331/S |
Cтанд. сниматели |
|
|
300 — 410 нм |
ma-D 533/S |
Cтанд. сниматели |