Товар
Описание
Характеристики
С этим товаром применяют

Фоторезисты для жидкостного травления

Стабильность при погружении в растворы кислот

Технология:

Описание

Резисты, предназначенные для жидкостного травления, должны обладать высокой стойкостью к растворам, содержащим HF, HNO₃ и другие высокоактивные вещества. На всём протяжении жидкостного травления они должны сохранять адгезию к подложке. Группа компаний Остек предлагает резисты, отвечающие высочайшим требованиям к адгезии и химической стойкости, применение которых позволяет избежать нежелательных подтравов и добиться соблюдения минимальных топологических норм. Среди поставляемых материалов присутствуют резисты серии Microposit S1800, которые являются продолжением серии хорошо зарекомендовавших себя Shipley S1805 и Shipley S1813.

Условия поставки

Фоторезисты для жидкостного травления поставляются под заказ.

Упаковка

Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма.

Хранение и транспортировка

Срок годности и условия хранения резистов для жидкостного травления указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка резистов недопустима.

Скрыть

Читать полностью

Характеристики

Резист	Толщина, мкм	Длина волны экспонирования	Проявитель	Сниматель
Позитивные фоторезисты
Allresist AR-P 3100	0,12-1	i-, g-линии; broadband	AR 300-26, AR 300-35, AR 300-47	AR 300-70
AZ 1500	0,5	i,h,g линии	Растворы TMAH, KOH и т.п.	AZ 100 Remover и др.
Microresist Technology ma-P 1200	0,5-8	i,h,g линии	ma-D 331, ma-D 531	mr-Rem 660, mr-Rem 400, ma-R 404
Dow MEGAPOSIT SPR 350	0,8-1,3	i-, g-линии; broadband	MF-20A, MF-CD-26	Cтанд. сниматели
Dow MICROPOSIT S 1800 G2	0,07-2,8	i-, g-линии; broadband	MF-300, MF-20A, 351 Dev	Cтанд. сниматели
Обращаемые фоторезисты
Microchemicals TI 35E	3-5	i,h,g линии	AZ 826 MIF, AZ 400K	AZ 100 Remover
Негативные фоторезисты
KAM SU-8	0,5-150	350-400 нм	SU-8 developer	Remover PG
Microresist Technology ma-N 400	5-8	300 — 380 нм	ma-D 332/S и ma-D 331/S	Cтанд. сниматели
Microresist Technology ma-N 1400	0,5-4	300 — 410 нм	ma-D 533/S	Cтанд. сниматели