Описание
Условия поставки
Пластины могут быть в наличии на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.
Упаковка
Пластины из стекла упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.
Хранение и транспортировка
Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.
|
Параметр |
Значение |
|||
|
Материал |
Borofloat® 33 |
|||
|
Диаметр, мм |
100 |
150 |
200 |
300 |
|
Толщина, мкм |
100 ÷ 1000 |
100 ÷ 1000 |
200 ÷ 1000 |
400 ÷ 1000 |
|
Отклонение толщины от номинала партии, мкм |
±10 |
|||
|
Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм |
<10 |
|||
|
Коэффициент температурного расширения, K-1 |
3,25×10-6 |
|||
|
Наличие фасок или срезов (согласно стандартам SEMI) |
Возможно |
|||
|
Полировка |
1,5 нм (для анодной сварки); возможна специальная полировка для непосредственной сварки (Ra<0,5 нм) |
|||
|
Нерабочая область, мм от края |
6 |
|||