Описание
Условия поставки
Пластины из монокристаллического кварца поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.
Упаковка
Пластины из монокристаллического кварца упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.
Хранение и транспортировка
Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.
|
Метод выращивания |
Гидротермальный | ||
|
Диаметр, мм |
50,8 ± 0,1 |
76,2 ± 0,1 |
100,0 ± 0,1 |
|
Толщина, мм |
0,35 / 0,50 ± 0,02 |
0,35 / 0,50 ± 0,02 | |
|
Стандартные срезы |
ST, AT, Z, X | ||
|
Длина основной фаски, мм |
16 ± 2 по оси X |
23 ± 2 по оси X |
32 ± 2 по оси X |
|
Кромка |
0,3×0,075 |
0,3×0,075 |
0,3×0,075 |
|
Неплоскостность на участке 13,6×13,6 мм (LTV), мкм: |
≤ 3 |
≤ 3 |
≤ 5 |
|
Разнотолщинность (TTV), мкм |
<= 3 um |
<= 5 um |
<= 7 um |
|
Прогиб, мкм |
≤ 30 |
≤ 40 |
≤ 40 |
|
Обработка лицевой стороны |
Полировка лицевой стороны, RMS < 5Å (AFM) | ||
|
Обработка обратной стороны |
Шлифовка (Ra = | ||
|
Плотность травления каналов (ECD), см-2 |
< 100 | ||