Описание
Условия поставки
Пластины могут быть в наличии на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.
Упаковка
Пластины из аморфного кварца упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.
Хранение и транспортировка
Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.
|
Параметр |
Значение |
||||
|
Диаметр, мм |
100 |
150 |
200 |
||
|
Толщина, мкм |
200 ÷ 1000 |
200 ÷ 1000 |
300 ÷ 1000 |
||
|
Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм |
<10 |
||||
|
Коэффициент температурного расширения, (10-6 K-1) |
0..100 °C: 0.51 |
||||
|
Наличие фасок или срезов (согласно стандартам SEMI) |
Срезы |
Срезы |
Фаски |
||
|
Удельное сопротивление, Ом×см |
20 °C: 1.0×1018 |
||||
|
Обработка поверхности |
Двусторонняя полировка |
||||
|
Шероховатость поверхности |
Ra<0,5 нм |
||||
|
Нерабочая область, мм от края |
6 |
||||
|
Обработка кромки |
Согласно стандарту SEMI M1 |
||||