Описание
* в зависимости от диаметра пластины. Параметры, не указанные в таблице, соответствуют международным стандартам SEMI;
по запросу возможна поставка пластин с иными параметрами, не указанными в таблице;
по запросу возможна поставка слитков из кремния.
Условия поставки
Пластины монокристаллического кремния могут иметься на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.
Упаковка
Пластины монокристаллического кремния упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не ниже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.
Хранение и транспортировка
Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.
|
Параметр |
Значение |
|
Метод выращивания |
Чохральского, зонной плавки |
|
Диаметр, мм |
25,4; 50,8; 76,2; 100; 125; 150; 200 |
|
Легирующая примесь |
P, B, As, Sb |
|
Удельное объёмное сопротивление, Ом-см |
0,001 - 12000 |
|
Кристаллографическая ориентация |
(100); (110); (111) |
|
Отклонение ориентации поверхности от заданной кристаллографической плоскости, град |
0,1 - 1 |
|
Толщина пластины, мкм |
90 - 5000* |
|
Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм |
< 10 |
|
Отклонение толщины от номинала партии, мкм |
от 5 |
|
Полировка |
одно- или двусторонняя |
|
Шероховатость поверхности, Ra |
<0.5 нм |