Суспензии Ferro
Химико-механическая полировка
Производитель:
Ferro
Технология:
Кристальное производство
Описание
Процесс химико-механической полировки (ХМП) находит широчайшее применение в микроэлектронике. ХМП используется как для производства пластин Si и других полупроводниковых материалов, так и для планаризации поверхностей различных слоёв в производстве микросхем, МЭМС, и других приборов. Изоляция транзисторов диэлектриком, подготовка подложек для эпитаксии, трёхмерная интеграция и создание многоуровневой металлизации — это лишь небольшой перечень технологических блоков, где ХМП является необходимым. Группа компаний Остек поставляет широкий ассортимент суспензий для ХМП, производимых компанией Ferro.
Условия поставки
Полировальные суспензии поставляются под заказ
Упаковка
Полировальные суспензии поставляются в банках, вёдрах и бочках различного объёма.
Хранение и транспортировка
Срок годности полировальных суспензий составляет 12 месяцев при комнатной температуре.
Скрыть
Читать полностью
Характеристики
|
Суспензия |
Основа |
Применение |
Средний диаметр частиц, мкм |
|
Ferro SRS-2080 |
ХМП сапфира |
2,0 | |
|
Ferro TruPlane 1983 |
Al2O3 |
ХМП сапфира |
0,4 |
|
Ferro TruPlane 2000 |
Al2O3 |
ХМП сапфира |
0,2 |
|
Ferro TruPlane 2066 |
ХМП сапфира |
0,2 | |
|
Ferro TruPlane 8272 |
CeO2 |
ХМП SiO2 |
0,14 |
|
Ferro SRS-1739 |
CeO2 |
ХМП SiO2 (STI) |
0,12 |
|
Ferro SRS-2067 |
CeO2 |
ХМП SiO2 |
0,13 |
|
Ferro SRS-2085 |
CeO2 |
ХМП SiO2 | |
|
Ferro SRS-2092 |
CeO2 |
ХМП SiO2 |
0,13 |
|
Ferro TruPlane 1631 |
CeO2 |
ХМП SiO2 |
0,13 |