Регистрация Вспомнить пароль

Dow. Фоточувствительный диэлектрик Cyclotene

Защитные фоточувствительные диэлектрики Cyclotene серии 4000, предлагаемые компанией Dow Chemical Company, представляют собой высокочистые полимерные материалы, полученные из мономеров на основе бензоциклобутена (BCB), и предназначены для применения тонкоплёночной технологии. Они идеальны для получения тонких диэлектрических слоёв и там, где необходимы защитные слои для пассивации и устойчивость к химическим воздействиям. Материал Cyclotene может служить как защитный слой для кремниевых, арсенид-галлиевых и керамических устройств, действует как негативный фоторезист, а также применяется в качестве диэлектрика с низкой диэлектрической проницаемостью в коммутационных конструкциях из арсенида галлия. Отличные характеристики по выравниванию материала Cyclotene позволяют выполнять плоские структуры межсоединений без применения химико-механической полировки.

Основные особенности:

Основные свойства

Таблица 1. Вязкости и толщины материалов Cyclotene серии 4000 

 

Тип материала Cyclotene

Вязкость (сСт)

Толщина после термообработки (мкм)

XUS35078 type 2

96

1,8 – 3,6

4022-25

34

0,1 – 1,8

4022-35

192

2,5 – 5,0

4024-40

350

3,5 – 7,5

4026-46

1100

7,0 – 14,0

XUS35078 type 3

1950

15 - 30

Таблица 2. Электрические и температурные свойства

 

Величина

Значение

Диэлектрическая проницаемость

2,65 (1 кГц-20 ГГц)

Коэффициент затухания

0,0008

Напряжение пробоя

5,3 МВт/см

Ток утечки

4,7Е-10 А/см2 при 1 МВ/см

Объёмное сопротивление

1Е10 Ом·см

Температурная проводимость

0,29 Вт/м·К при 24оС

Температурная устойчивость

1,7% потеря веса за час при 350оС

Таблица 3. Механические свойства 

 

Величина

Значение

Коэффициент теплового расширения

42 ppm/Со при 25оС

Температура стеклования

>350oC

Модуль упругости

2,9 ± 0,2 ГПа

Предел прочности

87 ± 9 МПа

Предел прочности при растяжении

8 ± 2,5%

Коэффициент Пуассона

0,34

Напряжение на кремнии при 25оС

28 ± 2 МПа

Рекомендации по использованию

  • Тон: негативный.
  • Толщина плёнки: 1,4 – 14 мкм.
  • Усилитель адгезии: AP3000.
  • Экспонирование: 436 нм (g-линия) и 365 нм (i-линия).
  • Проявление: DS3000, DS2100.
  • Удаление: Prime Stripper A.
  • Техническое описание: Cyclothene 4000 series.pdf.

Условия поставки

Поставка под заказ. Срок поставки от 6 недель.

Упаковка, хранение и транспортировка

Материал поставляется замороженным в сухом льду. Хранить в упаковке от производителя в плотно закрытом контейнере. Избегать воздействия прямого солнечного света или источников УФ излучения. Избегать температур выше 40оС. Материал может реагировать с самим собой при температурах свыше 100оС. Избегать контакта с сильными окислителями.

Таблица 4. Температуры и сроки хранения 

 

Температура хранения

Срок хранения

Ниже -15оС

12 – 18 месяцев с даты производства

4oС

1 – 2 месяца

20оС

5 – 10 дней


Сравнительная таблица для выбора резистов