Регистрация Вспомнить пароль

Пластины из монокристаллического кварца

Пластины из монокристаллического кварца применяются для создания акустоэлектронных приборов, а также в оптике. Для получения заданных характеристик приборов требуются пластины высокого качества. Наиболее жёсткие требования предъявляются к чистоте материала, точности ориентации кристалла, геометрическим параметрам (толщина, изгиб, коробление) и качеству обработки поверхности.

Основные характеристики

Метод выращивания

Гидротермальный

Диаметр, мм

50,8 ± 0,1

76,2 ± 0,1

100,0 ± 0,1

Толщина, мм

0,35 / 0,50 ± 0,02

0,35 / 0,50 ± 0,02

Стандартные срезы

ST, AT, Z, X

Длина основной фаски, мм

16 ± 2 по оси X

23 ± 2 по оси X

32 ± 2 по оси X

Кромка

0,3×0,075

0,3×0,075

0,3×0,075

Неплоскостность на участке 13,6×13,6 мм (LTV), мкм:

≤ 3

≤ 3

≤ 5

Разнотолщинность (TTV), мкм

<= 3 um

<= 5 um

<= 7 um

Прогиб, мкм

≤ 30

≤ 40

≤ 40

Обработка лицевой стороны

Полировка лицевой стороны, RMS < 5Å (AFM)

Обработка обратной стороны

Шлифовка (Ra = 0,2-0,5 мкм) либо полировка

Плотность травления каналов (ECD), см-2

< 100

Условия поставки

Пластины из монокристаллического кварца поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.

Упаковка

Пластины из монокристаллического кварца упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.

Хранение и транспортировка

Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.