Регистрация Вспомнить пароль

Пластины из стекла

Пластины из стекла Borofloat 33 широко применяются в оптоэлектронике, 3D интеграции и производстве МЭМС и МОЭМС. Также изготавливаются стеклянные пластины со сквозными проводящими выводами (TGV), канавками и отверстиями, что позволяет существенно упростить технологический процесс корпусирования на уровне пластины (WLP) и 3D интеграции.

Основные характеристики

Параметр

Значение

Материал

Borofloat® 33

Диаметр, мм

100

150

200

300

Толщина, мкм

100 ÷ 1000

100 ÷ 1000

200 ÷ 1000

400 ÷ 1000

Отклонение толщины от номинала партии, мкм

±10

Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм

<10

Коэффициент температурного расширения, K-1

3,25×10-6

Наличие фасок или срезов (согласно стандартам SEMI)

Возможно

Полировка

1,5 нм (для анодной сварки);

возможна специальная полировка для непосредственной сварки (Ra<0,5 нм)

Нерабочая область, мм от края

6

Условия поставки

Пластины из стекла могут иметься на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.

Упаковка

Пластины из стекла упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.

Хранение и транспортировка

Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.