Регистрация Вспомнить пароль

Разбавители фоторезистов

Очень часто при разработке новых технологических процессов либо при отладке технологии возникает необходимость управлять вязкостью фоторезиста. Такое требование возникает в связи с необходимостью изменить толщину наносимого покрытия или метод нанесения фоторезиста (например, использовать спрей вместо центрифугирования). Также для производства микросхем с субмикронными топологическими нормами необходимо наносить достаточно тонкие плёнки фоторезиста. Для этих целей используют органические растворители, которые меняют вязкость фоторезиста, не изменяя его химической структуры и эксплуатационных характеристик. При этом очень важно использовать вещества повышенного качества и чистоты, особенно в процессах, где требуется субмикронное разрешение фотолитографии.

Основные характеристики

Материал

Точка вспышки, °С

Температура кипения, °С

Особенности

Степень чистоты

Циклопентанон

22

131

Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика

ULSI, VLSI

Этиллактат

59

154

Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика

VLSI

Этилацетат

-1

77

Разбавление фоторезистов, удаление краевого валикам

MR, MOS, VLSI

Изопропиловый спирт

13

82

Растворитель, средство для отмывки органических загрязнений

VLSI

ULSI

SULSI

Метилизобутилкетон

14

116

Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика

VLSI

Метанол

11

64,7

Растворитель, средство для отмывки органических загрязнений

VLSI, ULSI

ПГМЕА

45

125

Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика

ULSI

N-метилпирролидон

91

202

Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика

MOS

VLSI

Microresist Technology ma-T 1050

48

148-151

Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов

VLSI

ALLRESIST OrmoThin

14

100-105

Разбавитель. Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов

VLSI

Microresist Technology mr-T 1070

45

143

Разбавитель. Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов

VLSI

Microresist Technology mr-T 1045

-

-

Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов

VLSI

Условия поставки

Разбавители фоторезистов поставляются под заказ.

Упаковка

Разбавители фоторезистов упакованы в бутылки и банки различного объёма.

Хранение и транспортировка

Срок годности и условия хранения разбавителей фоторезистов указаны в техническом описании на данные продукты.