Регистрация Вспомнить пароль

Реагенты для жидкостного травления и отмывки

Несмотря на широкое применение в микроэлектронике процессов сухого реактивно-ионного травления, во многих случаях использование жидкостного травления остаётся предпочтительным. С уменьшением топологических норм и увеличением количества слоёв на пластине, возрастают требования, предъявляемые к реагентам, используемым для травления. Травители должны обладать высочайшей селективностью по отношению к веществам топологических слоёв, уже сформированных на пластине, и к фоторезисту. Выполнение этого требования становится возможным только при использовании химикатов высочайшей степени чистоты, специально разработанных для селективного удаления определённых материалов и широко используемых ведущими производителями микроэлектронных устройств. Ниже представлен список травителей, поставляемых нашей компанией.

Основные характеристики

Реагент

Удаляемое вещество

Чистота

Technic ALUMINIUM ETCH (ANPE 5-5-80-10)

Al

MOS

Technic AFN 549

Si

VLSI

Technic Chrome Etch № 1

Cr

VLSI

Chrome Etch 18

Cr

VLSI

Silicon Etch EPC NF3.6-26

Si

VLSI

Silicon Etchant ANF180-9.3-8

Si

VLSI

Technic Techniclean DPG

MOS

Technic Techniclean R90

MOS

Technic TechniEtch ACI2

Au

VLSI

Technic TechniEtch Micro CN5

MOS

Technic TechniEtch Micro CN10

MOS

Technic TechniEtch TC (Titanium Etchant)

Ti

MR

BOE 7-1

SiO2

VLSI

BOE 10-1

SiO2

VLSI

TMAH 25%

Si

VLSI

KOH (44%)

Si

VLSI

KOH (50%)

Si

MR

HCl

Cu*, Al*

MOS (M<100 ppb)

VLSI (M=10-50 ppb)

ULSI (M=1 ppb)

H2SO4

Металлы*

VLSI

HNO3 (69,5%)

Металлы, Si*

VLSI

HF (1-50%)

SiO2

VLSI

H3PO4 (85%)

Si3N4*

VLSI

CH3COOH (99,9%)

Si*, Cu*, Al*

VLSI

*В составе смесей

Условия поставки

Реагенты поставляются под заказ

Упаковка

Стандартной упаковкой для реагентов являются бутылки объёмом 2,5 л, канистры 5 и 25 л, а также бочки объёмом от 60 л.

Хранение и транспортировка

Срок годности реагентов составляет 1 год. Реагенты могут транспортироваться при отрицательных температурах, но в этом случае перед их использованием необходимо выдержать их при комнатной температуре не менее 2 недель.