Регистрация Вспомнить пароль

Фоторезисты с высоким разрешением

Данный тип фоторезистов специально разработан для создания топологического рисунка с субмикронными топологическими нормами. Эти материалы отличаются повышенной чистотой и степенью фильтрации механических частиц, поскольку наличие загрязнений может существенно снизить выход годных устройств с пластины.

Основные характеристики

Резист

Толщина, мкм

Длина волны экспонирования

Проявитель

Сниматель

Позитивные фоторезисты

AZ MiR 701

1-1,5

i и g линии

AZ 726 MIF, AZ 351B и др.

Cтанд. сниматели

AZ ECI 3000

1-5

i,h,g линии

TMAH, KOH и т.п

AZ 100 Remover и др.

Dow MEGAPOSIT SPR 660

0,8-1,5

i-линия

MF-20A series, MF-CD-26, 0.24-0.26N

Microposit remover 1165

Dow MEGAPOSIT SPR 955 CM

0,7-3,0

i-линия

MF-CD-26, 0.24-0.26N

Cтанд. сниматели

Dow UV 26

0,85-3,0

ГУФ

MF-20A series, MF-CD-26, 0.26N

Microposit remover 1165

Dow UV 5

0,8

ГУФ

MF-20A series, MF-CD-26, 0.26N

Microposit remover 1165

Dow UV 6

0,6

ГУФ

MF-20A series, MF-CD-26, 0.26N

Microposit remover 1165

Dow UV 210GS

0,3-0,6

ГУФ

MF-20A series, MF-CD-26

Microposit remover 1165

Dow UV 110

0,38

ГУФ

MF-20A series, MF-CD-26

Cтанд. сниматели

Dow UV 60

0,58-0,75

ГУФ

MF-20A series, MF-CD-26

Cтанд. сниматели

Dow ULTRA-I-123

0,8-1,0

i-линия

MF-CD-26, 0.26N

Microposit remover 1165

Allresist AR-P 3100

0,12-1,0

i и g линии

AR 300-35, AR 300-47

AR 300-76, AR 300-73

Allresist AR-P 3500

1,4-2,0

i и g линии

AR 300-26, AR 300-44

AR 300-76

Allresist AR-P 3700/3800

1,4

i и g линии

AR 300-47, AR 300-26

AR 300-76, AR 600-71

Негативные фоторезисты

Dow UVN 30

0,5

ГУФ

MF-CD-26, 0.26N

Microposit remover 1165

Allresist AR-N 4200

1,8

ГУФ, i-линия

AR 300-47, AR 300-26

AR 300-76, AR 600-71

Allresist AR-N 4300

1,4

i и g линии

AR 300-475

AR 300-76, AR 300-72

Условия поставки

Резисты с высоким разрешением поставляются под заказ

Упаковка

Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма

Хранение и транспортировка

Срок годности и условия хранения резистов с высоким разрешением указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка резистов недопустима.