Данный тип фоторезистов специально разработан для создания топологического рисунка с субмикронными топологическими нормами. Эти материалы отличаются повышенной чистотой и степенью фильтрации механических частиц, поскольку наличие загрязнений может существенно снизить выход годных устройств с пластины.
Резист
Толщина, мкм
Длина волны экспонирования
Проявитель
Сниматель
Позитивные фоторезисты
1-1,5 i и g линии
AZ 726 MIF, AZ 351B и др.
Cтанд. сниматели
1-5 i,h,g линии
TMAH, KOH и т.п
AZ 100 Remover и др.
0,8-1,5
i-линия MF-20A series, MF-CD-26, 0.24-0.26N
Microposit remover 1165
0,7-3,0
i-линия MF-CD-26, 0.24-0.26N
Cтанд. сниматели
0,85-3,0 ГУФ
MF-20A series, MF-CD-26, 0.26N
Microposit remover 1165
0,8
ГУФ
MF-20A series, MF-CD-26, 0.26N
Microposit remover 1165
0,6
ГУФ
MF-20A series, MF-CD-26, 0.26N
Microposit remover 1165
0,3-0,6 ГУФ
MF-20A series, MF-CD-26
Microposit remover 1165
0,38
ГУФ
MF-20A series, MF-CD-26
Cтанд. сниматели
0,58-0,75 ГУФ
MF-20A series, MF-CD-26
Cтанд. сниматели
0,8-1,0
i-линия MF-CD-26, 0.26N
Microposit remover 1165
0,12-1,0 i и g линии
AR
300-35, AR300-47 AR
300-76, AR300-73
1,4-2,0 i и g линии
AR
300-26, AR300-44 AR
300-76 1,4
i и g линии
AR
300-47, AR300-26 AR
300-76, AR600-71 Негативные фоторезисты
0,5
ГУФ
MF-CD-26, 0.26N
Microposit remover 1165
1,8
ГУФ,
i-линия AR
300-47, AR300-26 AR
300-76, AR600-71 1,4
i и g линии
AR
300-475 AR
300-76, AR300-72
Резисты с высоким разрешением поставляются под заказ
Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма
Срок годности и условия хранения резистов с высоким разрешением указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка резистов недопустима.