Регистрация Вспомнить пароль
Задать вопрос специалисту
CAPTCHA

Краевая шероховатость линии

Краевая шероховатость линии (Line Edge Roughness  — LER )  — отклонение кромки линий топологического рисунка от гладкой идеальной формы. Краевая шероховатость обычно значительно ниже предельного разрешения литографического оборудования.