Многоразовые носители для обработки тонких пластин для химического разделения

Компания Plan Optik AG, ведущий производитель стеклянных и кварцевых пластин, представляет многоразовые носители для обработки тонких пластин, которых могут использоваться для химического разделения пластин.

В течение последних лет толщина пластин, использующихся в полупроводниковой промышленности, продолжает уменьшаться. Рынок требует компактных устройств, снижения стоимости и увеличения функциональности. Для этого необходимо уменьшать размеры модулей. Главным источником движения этого процесса являются устройства бытового применения. Потребность в уменьшении размера модулей также обусловлена техническими преимуществами, такими как улучшенные электрические и тепловые характеристики. Использование тонких пластин также позволяет осуществлять объемную упаковку датчиков изображения CMOS и других устройств.

Однако производство тонких пластин в больших количествах является непростой задачей. Из-за малой толщины полупроводниковые пластины повержены деформациям и поломкам. Деформация пластин во время обработки приводит к снижению выхода годных изделий и даже может сделать невозможной дальнейшую обработку пластин. Это означает, что нужна технология обработки тонких пластин с высокой степенью универсальности по отношению к размерам пластин и подложек.

Одним из наиболее распространенных методов является временное приклеивание тонких пластин на жесткий носитель с высокой точностью с помощью полимерного адгезива. Разделение (отклеивание) пластин после обработки (включая утончение) производится путем химического растворения адгезива. Для растворения адгезива через носитель необходима перфорация носителя.

Компания Plan Optik производит носители для химического разделения с использованием пустых стеклянных носителей с минимальными размерными допусками и новейших технологий формирования рисунка. Носитель может содержать более 100 000 сквозных отверстий, что обеспечивает равномерное и безопасное разделение.

Также компания производит носители для химического разделения с параллельностью (ttv) до 1 мкм из материалов с различными коэффициентами теплового расширения. Носители могут использоваться повторно до 50 раз.

Для обеспечения наивысшего качества компания Plan Optik применяет системы управления качеством, сертифицированные по стандартам ISO TS 16949, ISO 14001 и ISO 9001.