Носители для обработки пластин малых диаметров

Компания Plan Optik AG запустила производство пластин-носителей, которые позволяют проводить манипуляции с пластинами малых диаметров и подложками нестандартных размеров.

Диаметр пластин в полупроводниковой индустрии постоянно увеличивается, но не каждая компания может позволить себе иметь технологическое оборудование либо специальную оснастку для пластин разного диаметра или подложек с нестандартными размерами.

В пластинах-носителях Plan Optik сформированы специальные карманы для размещения пластин меньшего диаметра и проведения их по технологическому маршруту. Это даёт пользователю возможность держать и обрабатывать множество пластин разных диаметров и размеров на имеющемся оборудовании. Пластины-носители могут быть изготовлены либо из монокристаллического кремния со сформированными карманами, либо из колец боросиликатного стекла, приращенного к пластине кремния. Сформированные таким образом карманы в пластинах стандартного диаметра позволяют обрабатывать, например, пластины 150 мм на оборудовании для 200 мм или одновременно несколько пластин диаметром 50,8 мм на оборудовании для 150 мм.

Материалы, из которых изготовлены пластины, позволяют использовать их в процессах с температурами до 500 °C. В качестве дополнительных элементов на пластинах могут быть сформированы отверстия или канавки, например, для вакуумной фиксации на технологическом оборудовании.

Источник: http://www.planoptik.com/en/news/news_2018_01_25.html#