Новые сниматели Smart Intelligent Fluids®
05.03.2020
Сниматели SVD и SH5 для процессов фотолитографии легко удаляют слои фоторезистов (PR) с неорганических подложек, таких как кремний, стекло и металлы (например, медь). Действие Smart Intelligent Fluids® (IF) основано на не агрессивных процессах растворения, как в случае многих традиционных продуктов, — Intelligent Fluids® обеспечивают мягкое физическое отделение даже стойких слоев, не повреждая поверхность подложки.
Сниматели работают с высокодинамичными фазовыми структурами в два этапа:
- впитывание и фрагментация слоя;
- изоляция и удаление фрагментов.
Негативные фоторезисты будут отделяться большими фрагментами и могут быть отфильтрованы. Позитивные фоторезисты с другой стороны будут оставаться в растворе.
Преимущества:
- на водной основе;
- рН нейтрален для кожи (рН:
5,5-6,5); - нетоксичный, негорючий;
- безопасен в обращении;
- дерматологически проверено — «отлично»;
- биоразлагаемый.