Регистрация Вспомнить пароль

Мишени для напыления

Мишени для напыления сделаны из высокочистых драгоценных металлов для осаждения распылением и выпускаются в виде мишеней различных форм. Стандартные формы – диски, цилиндры. Под заказ могут быть изготовлены индивидуальные формы и размеры.

Для формирования металлизации и слоёв иного топологического назначения, в микроэлектронике в основном применяют процессы физического осаждения (PVD). Материал испаряют термически, с помощью ионной бомбардировки, сфокусированным электронным или ионным пучком, а затем осаждают на подложку. Независимо от типа источника, высочайшие требования предъявляются к чистоте материалов. Наша компания поставляет материалы для различных методов напыления от ведущих мировых производителей (Kurt J. Lesker, Advantec Co., Sindlhauser Materials GmbH и др.).



Техническое описание

Особенности мишеней для напыления, изготавливаемых при помощи плавки:

Основные характеристики

Форма

Материал

Мишень

Дробь

Куски

Форма под заказ

Проволока

Ag

+

+

+

+

+

Al

+

+

+

+

+

AlCu

+

+

AlN

+

+

AlSi

+

+

AlSiCu

+

+

Au

+

+

+

+

+

Au-Ge

+

+

Au-Si

+

+

Au-Sn

+

+

+

CIGS

+

+

Cr

+

+

Cu

+

+

+

Ga

+

+

Ge

+

+

+

Hf

+

+

+

+

HfO2

+

+

In

+

+

+

Ir

+

+

+

ITO

+

+

+

Ni

+

+

+

+

NiFe

+

+

+

+

NiFeMoMn

+

+

+

Pb

+

+

Pd

+

+

Pt

+

+

+

Области применения мишеней для напыления

Условия поставки

Мишени для напыления поставляются под заказ. Материалы поставляются либо отдельно, либо на медной пластине. Метод соединения пластины и медного основания согласовывается с заказчиком. Мишени изготавливаются согласно спецификации заказчика.

Хранение и транспортировка

Срок годности материалов не ограничен при условии хранения в инертной среде.

В нашем каталоге так же присутствуют кремниевые пластины.