Регистрация Вспомнить пароль

Фоторезисты для жидкостного травления

Резисты, предназначенные для жидкостного травления, должны обладать высокой стойкостью к растворам, содержащим HF, HNO3 и другие высокоактивные вещества. На всём протяжении жидкостного травления они должны сохранять адгезию к подложке. Группа компаний Остек предлагает резисты, отвечающие высочайшим требованиям к адгезии и химической стойкости, применение которых позволяет избежать нежелательных подтравов и добиться соблюдения минимальных топологических норм. Среди поставляемых материалов присутствуют резисты серии Microposit S1800, которые являются продолжением серии хорошо зарекомендовавших себя Shipley S1805 и Shipley S1813.

Основные характеристики

Резист

Толщина, мкм

Длина волны экспонирования

Проявитель

Сниматель

Позитивные фоторезисты

Allresist AR-P 3100

0,12-1

i-, g-линии; broadband

AR 300-26, AR 300-35, AR 300-47

AR 300-70

AZ 1500

0,5

i,h,g линии

Растворы TMAH, KOH и т.п.

AZ 100 Remover и др.

AZ 111 XFS

1

310 — 420 нм

AZ 303 Developer

AZ 100 Remover

Microresist Technology ma-P 1200

0,5-8

i,h,g линии

ma-D 331, ma-D 531

mr-Rem 660, mr-Rem 400, ma-R 404

Dow MEGAPOSIT SPR 350

0,8-1,3

i-, g-линии; broadband

MF-20A, MF-CD-26

Cтанд. сниматели

Dow MICROPOSIT S 1800 G2

0,07-2,8

i-, g-линии; broadband

MF-300, MF-20A, 351 Dev

Cтанд. сниматели

Обращаемые фоторезисты

Microchemicals TI 35E

3-5

i,h,g линии

AZ 826 MIF, AZ 400K

AZ 100 Remover

Негативные фоторезисты

Microchem SU-8

0,5-150

350-400 нм

SU-8 developer

Remover PG

Microresist Technology ma-N 400

5-8

300 — 380 нм

ma-D 332/S и ma-D 331/S

Cтанд. сниматели

Microresist Technology ma-N 1400

0,5-4

300 — 410 нм

ma-D 533/S

Cтанд. сниматели

Условия поставки

Фоторезисты для жидкостного травления поставляются под заказ.

Упаковка

Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма.

Хранение и транспортировка

Срок годности и условия хранения резистов для жидкостного травления указаны в техническом описании на данные продукты. Заморозка резистов недопустима.