Материалы
Файлы для скачивания
- Материалы для импринтной фотолитографии
- Фоторезисты с высоким разрешением
- Фоторезисты для обратной (взрывной) фотолитографии
- Фоторезисты для жидкостного травления
- Фоторезисты для специального применения
- Фоторезисты для гальванического осаждения
- Фоторезисты для сухого травления
- Резисты для электронной фотолитографии
- Активаторы адгезии и антиотражающие покрытия
- Разбавители фоторезистов
- Сниматели фоторезистов
- Гибридные УФ-отверждаемые полимеры

Фотолитография
Фотолитография — технология, позволяющая получить рисунок на поверхности твердого материала, которая широко используется, например, при производстве различных микроэлектронных изделий, плат и так далее. Также этот метод широко используется при производстве полупроводниковых приборов. В его основу положено использование специального светочувствительного материала, который накладывается в виде защитного рельефного покрытия. Обычно рисунок изображает схему или печатную плату, которые впоследствии переносят на подложку. Светочувствительные материалы, используемые при этом, называются фоторезистами.
Виды литографии
В настоящее время различают следующие виды литографии:
Виды фоторезистов
Фоторезисты делятся на два основных типа — негативные и позитивные. Негативные характеризуются тем, что проэкспонированные области полимеризуются и становятся нерастворимыми. Поэтому после проявления рисунка растворяются лишь не проэкспонированные области. Негативные фоторезисты обладают более высокой адгезией и более устойчивы к травлению.
Что касается позитивных фоторезистов, то у них проэкспонированные области становятся становятся растворимыми и после проявления разрушаются. С их помощью можно получить более высокое разрешение изображения. Однако стоят такие материалы несколько дороже.
Процесс фотолитографии
Вкратце процесс фотолитографии выглядит следующим образом:
В процессе фотолитографии очень важным является использовать фоторезисты фп и сопутствующие им реагенты (проявители, сниматели), совместимые с технологическими процессами, производимыми над пластиной после экспонирования. Поэтому мы подразделяем резисты по различным применениям, в каждом из которых собраны группы материалов, обладающих сходными характеристиками.
Другие материалы нашего каталога: полупроводниковые пластины.
Скачивание файлов доступно только для авторизованных пользователей