Материалы для фотолитографии и фоторезисты

Фотолитография

Фотолитография — технология, позволяющая получить рисунок на поверхности твердого материала, которая широко используется, например, при производстве различных микроэлектронных изделий, плат и так далее. Также этот метод широко используется при производстве полупроводниковых приборов. В его основу положено использование специального светочувствительного материала, который накладывается в виде защитного рельефного покрытия. Обычно рисунок изображает схему или печатную плату, которые впоследствии переносят на подложку. Светочувствительные материалы, используемые при этом, называются фоторезистами.

Виды литографии

В настоящее время различают следующие виды литографии:

Виды фоторезистов

Фоторезисты делятся на два основных типа — негативные и позитивные. Негативные характеризуются тем, что проэкспонированные области полимеризуются и становятся нерастворимыми. Поэтому после проявления рисунка растворяются лишь не проэкспонированные области. Негативные фоторезисты обладают более высокой адгезией и более устойчивы к травлению.

Что касается позитивных фоторезистов, то у них проэкспонированные области становятся становятся растворимыми и после проявления разрушаются. С их помощью можно получить более высокое разрешение изображения. Однако стоят такие материалы несколько дороже.

Процесс фотолитографии

Вкратце процесс фотолитографии выглядит следующим образом:

В процессе фотолитографии очень важным является использовать фоторезисты фп и сопутствующие им реагенты (проявители, сниматели), совместимые с технологическими процессами, производимыми над пластиной после экспонирования. Поэтому мы подразделяем резисты по различным применениям, в каждом из которых собраны группы материалов, обладающих сходными характеристиками.

Большой выбор современных материалов расширяет возможности производства полупроводниковых приборов. Позитивные и негативные фоторезисты получили одинаково широкое распространение в различных технологических процессах. Негативные применяются при необходимости выполнять глубокое травление. Позитивные характеризуются высокой разрешающей способностью и востребованы там, где важно достичь максимально четких границ изображения. При этом возможность выбора фоторезистов с различной спектральной чувствительностью упрощает задачу организации неактиничного освещения рабочих мест.

Другие материалы нашего каталога: полупроводниковые пластины.

Скачивание файлов доступно только для авторизованных пользователей